真空镀膜机
工艺流程：端导镀膜（涂银）
规格：R-VS560-3Z/R-VS650-3Z，R-VS380B-4Z
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产品规格
● 抽真空系统：机械泵+分子泵
● 溅射方式：直流脉冲磁控溅射，功率6KW
● 产能：50min/炉
● 良率：99%以上
● 工作气体输送：质流量计（MFC）＋电磁阀组合,输入Ar(0~100sccm±1%)
产品优势
● 设备运行高效，稼动率高达85%
● 产品品质稳定，行业内认可度高
● 自主设计拥有发明专利及实用型专利
关键词：
真空
设备
镀膜
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